半導體制造業(yè)由于在制程中要使用到極高毒性,腐蝕性及易燃性氣體、液體和大量可燃性塑材，再加上無塵室的密閉作業(yè)環(huán)境及回風系統(tǒng),被美國(FMS)組織列 為“極高風險”的行業(yè)。作為半導體晶圓代工廠氣體的使 用者，每一位工作人員都應該在使用前對各種危險氣體 的安全數(shù)據(jù)加以了解，并且應該知道如何應對這些氣體外泄時的緊急處理程序。

半導體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)房中存在大量特細氣體管道，在安裝完成后，必須經(jīng)過嚴格的檢測測試才能投入正 常使用。特細氣體管路的五項必備分析測試分別 為: 壓力/氨側(cè)漏/含塵量/水分氧分分析檢測。只有 當以上五項測試檢測全部符合標準廠房才可投入使 用，否則會有極大的潛在安全以及經(jīng)濟風險。

根據(jù)現(xiàn)行國家標準《特種氣體系統(tǒng)工程技術規(guī)范》GB50646-2011和《有毒氣體檢測報警儀技術條件及檢驗方法》HG23006中的有關規(guī)定，同時結(jié)合半導體工廠使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應要求作出檢測報警響應時間規(guī)定。要求處于抽風口或環(huán)境點安裝毒性氣體偵測器及系統(tǒng)，若發(fā)生任何有毒氣體的泄漏將會被氣體偵測系統(tǒng)所偵測到，這個控制系統(tǒng)將根據(jù)氣體外泄對人體 危害的大小來確定整個氣體輸送系統(tǒng)的相關互鎖動作，嚴重時緊急關閉上游所有氣源，同時會驅(qū)動中央控制室和現(xiàn)場的相關報警系統(tǒng)，甚至會驅(qū)動全廠的自動語音廣播系統(tǒng)通知立即疏散，要求相關人員迅速撤離報警區(qū)域。因此只要工程技術人員嚴格按照所制定的標準作業(yè)程序操作，所有這些安全裝置都將確保人員不會有安全上的顧慮。

半導體行業(yè)氣體檢測主要范圍
一氧化碳CO、氨氣NH3、氧氣O2、氯化氫HCl、氯氣Cl2、氟化氫HF、磷化氫PH3和氫氣H2等有毒有害,易燃 易爆氣體傳感器，是針對半導體制造業(yè)毒氣監(jiān)測應用的專業(yè)級傳感器產(chǎn)品. 傳感器壽命長，可長時間穩(wěn)定持續(xù)監(jiān) 測，可大大降低半導體制造業(yè)毒氣監(jiān)測成本，實現(xiàn)大范圍安裝應用，為半導體制造業(yè)毒氣監(jiān)測提供了切實可行的安全生產(chǎn)監(jiān)測解決方案。

半導體電子廠房常見危險性氣體種類

半導體電子廠房氣體檢測及監(jiān)視系統(tǒng)
在半導體電子廠房加工過程中，高危險物質(zhì)，尤其是可燃氣體、有毒氣體等氣體的使用日益增加。不可避免的氣體泄漏事件偶有發(fā)生，進而對工廠及其雇員和附近居民及環(huán)境產(chǎn)生潛在危害。全球范圍內(nèi)因氣體泄漏所導 致的燃燒、爆炸和窒息、人員傷亡等事故，不斷地提示著人們這個問題的存在。氣體檢測及監(jiān)視系統(tǒng)隨之誕生， 旨在氣體泄漏早期及時發(fā)現(xiàn)、預警，幫助人們獲得更多時間去預防和采取補救行動。
目前，應用于半導體產(chǎn)業(yè)的特種氣體有110余種，常用的有20-30種，在原材料需求占比中高達14%。

半導體產(chǎn)業(yè)中常見氣體檢測應用：
維持潔凈度： 付氮封、充吹（Purge）
矽晶片制造：O2, HCL, H2, Ar
氧化：O2, DCE
摻雜：PH3,AsH3, BCl3
微影：KrF, ArF, F2
蝕刻：Cl2, SF6, NF3, CF4, HBr, BCl3
薄膜：Ar (物理氣相沉積PVD)， SiH4, N2O, NH3, WF6 (化學氣相沉積CVD)

舒茨股份提供半導體行業(yè)內(nèi)氣體濃度定量與控制設備，為半導體行業(yè)提供一站式的解決方案，以及一氧化碳CO、氨氣NH3、氧氣O2、氯化氫HCl、氯氣Cl2、氟化氫HF、磷化氫PH3和氫氣H2等有毒有害,易燃易爆氣體傳感器、報警儀、變送器等控制設備，為半導體前端生產(chǎn)工藝保駕護航。